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Definição - O que significa Nanolitografia?
Nanolitografia é um ramo da nanotecnologia e o nome do processo para imprimir, gravar ou gravar padrões em um nível microscópico, a fim de criar estruturas incrivelmente pequenas. Esse processo é normalmente usado para criar dispositivos eletrônicos menores e mais rápidos, como micro / nanochips e processadores. A nanolitografia é usada principalmente em vários setores da tecnologia, do eletrônico ao biomédico.Techopedia explica Nanolitografia
Nanolitografia é um termo amplo usado para descrever vários processos para a criação de padrões em nanoescala em diferentes meios, sendo o mais comum o silício de material semicondutor. O objetivo predominante da nanolitografia é o encolhimento de dispositivos eletrônicos, o que permite que mais peças eletrônicas sejam amontoadas em espaços menores, ou seja, circuitos integrados menores que resultam em dispositivos menores, que são mais rápidos e baratos de fabricar, pois são necessários menos materiais. Isso também aumenta o desempenho e os tempos de resposta, porque os elétrons precisam apenas percorrer distâncias muito curtas.
Algumas técnicas usadas na nanolitografia são as seguintes:
- Litografia de raios-X - Implementada através de uma abordagem de impressão por proximidade e depende de raios-X de campo próximo na difração de Fresnel. É conhecido por estender sua resolução óptica para 15 nm.
- Padronização dupla - Um método usado para aumentar a resolução de afinação de um processo litográfico, imprimindo padrões adicionais entre espaços de padrões já impressos na mesma camada.
- Litografia de gravação direta por feixe de elétrons (EBDW) - O processo mais comum usado na litografia, que usa um feixe de elétrons para criar padrões.
- Litografia ultravioleta extrema (EUV) - Uma forma de litografia óptica que utiliza comprimentos de onda da luz ultracurta de 13, 5 nm.
